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微量、痕量元素会严重影响钢铁等金属材料的各种性能，需进行严格控制和准确检测。金属材料成分极其复杂，使得探索痕量元素的分析方法。ICP MS分析技术，以其测试范围宽、干扰机理相对明确、测试快速、准确等特点，在金属成份测试方面，得到了快速普及。大量与之相关的测试方法与标准，也在源源不断的推出。